技術(shù)應(yīng)用鏈接:
Tetra 1200 LF-PC | 特殊設(shè)備
開關(guān)柜:寬 1000 mm、高 1000 mm、深 1800 mm
腔室:寬 600、高 1000 mm、深 2000 mm
腔室容積:約 1200 升
氣體供給:通過 MFC 控制的 2 個氣體通道
發(fā)生器:3 個(各為 40 kHz)
控制系統(tǒng):配有工業(yè)現(xiàn)場總線的 PC-控制系統(tǒng) (Windows)
更多詳細(xì)資料,可聯(lián)系上海爾迪儀器科技有限公司,電話?。?/p>
關(guān)鍵詞:
Diener
等離子表面處儀
Tetra1200
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