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MDPpro 晶圓片晶錠壽命檢測儀

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上海市

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更新時間：2020-08-21 16:32:07瀏覽次數(shù)：626次

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束蘊儀器（上海）有限公司

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產(chǎn)品簡介

加工定制	否

MDPpro 晶圓片晶錠壽命檢測儀用于常規(guī)質(zhì)量控制、精密材料研發(fā)的單晶和多晶片及晶錠的壽命測量

詳細(xì)介紹

Mono- and Multi-crystalline wafer and brick lifetime measurement device

MDPpro 晶圓片晶錠壽命檢測儀

應(yīng)用范圍：MDPpro 晶圓片晶錠壽命檢測儀用于常規(guī)質(zhì)量控制、精密材料研發(fā)的單晶和多晶片及晶錠的壽命測量

根據(jù)SEMI標(biāo)準(zhǔn)PV9-1110的非接觸式和無損成像(μPCD / MDP(QSS))、光電導(dǎo)性、電阻率和p/n檢查。

晶圓切割，爐內(nèi)監(jiān)控，材料優(yōu)化等。

日常壽命測量，質(zhì)量控制和檢驗

◆產(chǎn)量：>240塊/天或>720片/天
◆測量速度：對于156x156x400mm標(biāo)準(zhǔn)晶錠，<4分鐘
◆生產(chǎn)改善：1mm切割標(biāo)準(zhǔn)為156x156x400mm標(biāo)準(zhǔn)晶錠
◆質(zhì)量控制：用于過程和材料的質(zhì)量監(jiān)控，如單晶硅或多晶硅
◆污染測定：起源于爐和設(shè)備的金屬(Fe)
◆可靠性：模塊化和堅固耐用的工業(yè)儀器，更高的可靠性和運行時間> 99%
◆可重復(fù)性:> 99.5%
◆電阻率：不需要經(jīng)常校準(zhǔn)