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Coater/Developer - SUSS MicroTec

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更新時間:2025-03-28 08:32:12瀏覽次數:51

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產品簡介

在MEMS和封裝領域,SUSS涂膠顯影設備得到廣泛應用和客戶支持 提供包括PR/PI的旋涂/噴涂、顯影、HMDS處理、熱板和冷板等功能,集成了如去厚膠邊,背面清洗,工藝腔自動清洗等功能。 同時,涂膠/顯影模塊可以通過準確控制工藝參數,如加裝溫濕度控制系統(tǒng)、涂膠/顯影方式、溫度、時間和用量,以達到工藝效果。

詳細介紹


• 在MEMS和封裝領域,SUSS涂膠顯影設備得到廣泛應用和客戶支持

• 提供包括PR/PI的旋涂/噴涂、顯影、HMDS處理、熱板和冷板等功能,集成了如去厚膠邊,背面清洗,工藝腔自動清洗等功能。

• 同時,涂膠/顯影模塊可以通過準確控制工藝參數,如加裝溫濕度控制系統(tǒng)、涂膠/顯影方式、溫度、時間和用量,以達到工藝效果。

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