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美國ZYGO激光干涉儀DynaFiz

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更新時間:2022-11-28 14:56:59瀏覽次數(shù):1093次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹:美國ZYGO激光干涉儀DynaFiz 新型的ZYGO DynaFiz激光干涉儀是特別設(shè)計為在有空氣湍流和振動的環(huán)境中進行精確的光學(xué)計量的優(yōu)化的光學(xué)儀器。DynaFiz 光學(xué)系統(tǒng)的長壽命,高功率氦氖激

詳細介紹

美國ZYGO激光干涉儀DynaFiz
新型的ZYGO DynaFiz激光干涉儀是特別設(shè)計為在有空氣湍流和振動的環(huán)境中進行精確的光學(xué)計量的優(yōu)化的光學(xué)儀器。DynaFiz 光學(xué)系統(tǒng)的長壽命,高功率氦氖激光源具有高的光效率,使得相機的高速快門能夠“凝固”振動。這種動態(tài)能力提供了 在惡劣的環(huán)境中,傳統(tǒng)的時間相移技術(shù)不可能實現(xiàn)的可靠的測量。
美國ZYGO激光干涉儀DynaFiz

系統(tǒng):

◆測量功能:精密測量各種反射面和光學(xué)系統(tǒng)的表面面形、精密測量光學(xué)系統(tǒng)的傳輸波前

◆測量技術(shù):DynaPhase動態(tài)測量技術(shù);可選模式:機械相移測量(PSI)

◆校準(zhǔn)系統(tǒng):

◆動態(tài)模式:DyanaPhase 對準(zhǔn)向?qū)?zhǔn);

◆移相模式:快速條紋采樣系統(tǒng)(QFAS) (雙光點定位于十字線)

◆對準(zhǔn)視場范圍FOV :±3°

◆測量光束直徑: 4″(102mm)

◆光學(xué)中心線 :4.25″(108mm)

◆激光光源:大功率穩(wěn)定氦-氖激光,III

◆波長: 633 nm

◆頻率穩(wěn)定度: < 0.0001 nm

◆相干長度 :>100m

◆成像分辨率:1200 x 1200 像素

◆幀速:50Hz(600 x 600 像素:82Hz)

◆數(shù)據(jù)模式:10位

◆放大:電控塔臺切換,1X,1.7X,3X

◆偏振:接近圓偏振(1.2:1或者更好)

◆光曈調(diào)焦范圍: ±2m

◆無線遙控:聚焦,放大,校準(zhǔn)控制;遙控范圍:15m

◆計算機和軟件:高性能DELL PC , Windows7 , 64 位, ZYGO MetroproTM X軟件

◆安裝構(gòu)造:水平臥式或垂直立式

◆附件:參考ZYGO 激光干涉儀附件向?qū)募?,OMP-0463

◆尺寸(長x寬x高) :60 x 31 x 34 cm (23.7 x 12.1 x 13.4 in.);帶移相器長度增加9cm(3.6in.)

◆重量 :≤80lb(36 Kg);帶移相器增加10lb(5kg)

◆電源 :100-240VAC,50/60Hz

◆保修期 :2年

技術(shù)參數(shù):

◆RMS重復(fù)性:< 0.06 nm, λ/10,000 (2σ)

◆RMS波前重復(fù)性:

動態(tài)模式: < 1.0 nm,λ/600 (mean + 2σ)

移相模式: < 0.25 nm,λ/2500 (mean + 2σ)

◆像素峰值偏差:

動態(tài)模式:< 2.0 nm, λ/300 (99.5th %)

移相模式: < 0.5 nm, λ/1200 (99.5th %)

◆條紋分辨率:

動態(tài)模式:250 條紋(每種放大倍率)

移相模式:500條紋(每種放大倍率)

◆曝光時間 :12usec(小)

◆數(shù)據(jù)采樣速度: ≤82幅數(shù)據(jù)圖像/秒

◆LivePhaseTM :Zernike擬合分析的實時相位信息

◆相位影像 記錄≤82幅/秒過程中的信息,可存儲為AVI格式文件和保留原始數(shù)據(jù)文件

◆外部影像:觸發(fā)器 TTL信號


關(guān)鍵詞:激光干涉儀

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