德國(guó)Polytec MSA-600顯微式激光測(cè)振儀德國(guó)Polytec MSA-600顯微式激光測(cè)振儀是集面外振動(dòng)、面內(nèi)振動(dòng)、及表面形貌測(cè)量功能于一體的光學(xué)測(cè)量工作站。該款測(cè)振儀可實(shí)時(shí)測(cè)量，無(wú)需數(shù)據(jù)后處理。 ......

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德國(guó)Polytec MSA-600顯微式激光測(cè)振儀是集面外振動(dòng)、面內(nèi)振動(dòng)、及表面形貌測(cè)量功能于一體的光學(xué)測(cè)量工作站。該款測(cè)振儀可實(shí)時(shí)測(cè)量，無(wú)需數(shù)據(jù)后處理。

德國(guó)Polytec MSA-600顯微式激光測(cè)振儀產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

德國(guó)Polytec MSA-600顯微式激光測(cè)振儀是集面外振動(dòng)、面內(nèi)振動(dòng)、及表面形貌測(cè)量功能于一體的光學(xué)測(cè)量工作站。系統(tǒng)具有高靈活性和精度，以滿足顯微結(jié)構(gòu)未來(lái)的發(fā)展需要。顯微式激光測(cè)振儀可提供準(zhǔn)確的三維動(dòng)態(tài)和靜態(tài)響應(yīng)數(shù)據(jù)，在降低開(kāi)發(fā)和制造成本的同時(shí)提高產(chǎn)品性能，從而縮短設(shè)計(jì)周期，簡(jiǎn)化故障處理，提高產(chǎn)品產(chǎn)量。

德國(guó)Polytec MSA-600顯微式激光測(cè)振儀1.png

德國(guó)Polytec MSA-600顯微式激光測(cè)振儀產(chǎn)品特點(diǎn)：

集多功能于一體的光學(xué)測(cè)量工作站

實(shí)時(shí)測(cè)量，無(wú)需數(shù)據(jù)后處理

的亞pm位移分辨率

測(cè)量速度快，振型可視化顯示

操作界面直觀友好

全自動(dòng)化測(cè)量，易于集成至商用探針臺(tái)上

德國(guó)Polytec MSA-600顯微式激光測(cè)振儀典型應(yīng)用：

微型結(jié)構(gòu)的面外振動(dòng)，測(cè)量單點(diǎn)振動(dòng)或者兩點(diǎn)間的相對(duì)振動(dòng)：

如：梳齒驅(qū)動(dòng)器、射頻MEMS開(kāi)關(guān)、FEM有限元模型驗(yàn)證、CMUT、PMUT、MEMS薄膜壓力傳感器、PZT壓電懸臂梁等

微型結(jié)構(gòu)的面內(nèi)振動(dòng)：

如：梳齒驅(qū)動(dòng)器、MEMS扭轉(zhuǎn)激振器、壓電陶瓷制動(dòng)器的橫向運(yùn)動(dòng)

微型結(jié)構(gòu)的表面形貌：

如：梳齒驅(qū)動(dòng)器、微型齒輪、微流量傳感器、懸臂梁等表面形貌

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儀器參數(shù)Technical data

中科匯儀網(wǎng)，我們會(huì)努力按照原廠技術(shù)參數(shù)翻譯編輯，如技術(shù)參數(shù)中英文有差異，以英文參數(shù)為準(zhǔn)。

德國(guó)Polytec MSA-600顯微式激光測(cè)振儀技術(shù)參數(shù)：

MSA-600系統(tǒng)配置
基本配置	面外振動(dòng)*大頻率為2.5 MHz
選配件
頻率擴(kuò)展	面外振動(dòng)*大頻率達(dá)25 MHz
差分測(cè)量	面外振動(dòng)可進(jìn)行差分測(cè)量
面內(nèi)運(yùn)動(dòng)分析	面內(nèi)振動(dòng)測(cè)量
形貌測(cè)量	表面形貌測(cè)量

面外振動(dòng)測(cè)量
	測(cè)量原理	激光多普勒原理
型號(hào)	MSA-600-M (標(biāo)準(zhǔn))	MSA-600-V (帶寬擴(kuò)展)
*大頻率	2.5 MHz	25 MHz
檔位數(shù)量	13 個(gè)速度檔位	13 個(gè)速度檔位
*大振動(dòng)速度	0.001 m/s … 10 m/s,與檔位有關(guān)	0.001 m/s … 10 m/s,與檔位有關(guān)
速度分辨率均值1	0.005 (μm/s)/√Hz … 1 (μm/ s)/√Hz, 與檔位和頻率有關(guān)	0.005 (μm/s)/√Hz … 2 (μm/s)/√Hz, 與檔位和頻率有關(guān)
位移分辨率	50 fm/√Hz	50 fm/√Hz
面內(nèi)振動(dòng)測(cè)量
	測(cè)量原理	頻閃法
型號(hào)	MSA-600 帶面內(nèi)振動(dòng)測(cè)量模塊
帶寬	1 Hz … 2.5 MHz
*大速度	> 0.1 m/s … 10 m/s（與鏡頭放大倍數(shù)有關(guān)）
鏡頭放大倍數(shù)2	1x … 100x
位移分辨率3	5 nm
時(shí)間分辨率	100 ns (頻閃曝光時(shí)間); 頻閃*大間隔時(shí)間±40 ns
系統(tǒng)輸出	位移量、波特圖、階躍響應(yīng)、衰減曲線、軌跡圖等

1、均值是根據(jù)所在檔位的*大頻率fmax計(jì)算而來(lái)。

2、鏡頭的具體技術(shù)參數(shù)請(qǐng)見(jiàn)后附表格。

3、隔振臺(tái)上每個(gè)頻率512次頻閃次數(shù)的本底噪聲。

形貌測(cè)量
型號(hào)	MSA-600 帶形貌測(cè)量模塊
垂直測(cè)量范圍	250 μm
標(biāo)稱樣本增量	80 nm
評(píng)估程序4	光滑表面	粗糙表面
分辨率(RMS) 5	45 pm	1.2 nm
單次測(cè)量分辨率(RMS)	300 pm	14 nm
可重復(fù)精度6	500 pm	20 nm
評(píng)估平整度偏差7	< 5 nm	< 50 nm
可溯源校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)(PTB Type A1 (ISO 5436-1)
可重復(fù)精度8	0.07 %
擴(kuò)展不確定度9	0.35 %

4、“光滑表面"：自相關(guān)相位評(píng)估?！按植诒砻?自相關(guān)譜包絡(luò)線評(píng)估

5 、在阻尼振動(dòng)溫控條件下，對(duì)鍍銀、平行對(duì)齊平面鏡的50次幅值的均方根值。

6 、稍傾斜平行板(λ/ 20)100次平整度測(cè)量結(jié)果的標(biāo)準(zhǔn)偏差

7、平面度的平均值（遵循ISO 1101）

8 、30次階躍高度測(cè)量的均方根偏差，校準(zhǔn)的階躍高度標(biāo)稱為50μm。

9、在重復(fù)條件下，將30次連續(xù)測(cè)量值的標(biāo)準(zhǔn)不確定度與標(biāo)稱值偏差相加。組合標(biāo)準(zhǔn)不確定度是標(biāo)稱不確定度和測(cè)量結(jié)果的標(biāo)準(zhǔn)偏差的二次均方根值。

光學(xué)部分技術(shù)參數(shù)
MSA-I-600 光學(xué)頭
激光波長(zhǎng)	532 nm
激光安全等級(jí)	class 3R (可見(jiàn)光輸出小于5 mW)
照明光源波長(zhǎng)	470 nm
照明光源安全等級(jí)	class 2 LED 燈(可見(jiàn)光輸出小于20 mW)
攝像機(jī)	全場(chǎng)逐行掃描
攝像機(jī)分辨率	1732 x 1200像素
攝像機(jī)幀速	*大 56 fps