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精密隔振光學平臺-光學平臺-氣浮光學平臺 h-TDI

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更新時間：2022-12-12 13:53:04瀏覽次數(shù)：345次

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廣州市固潤光電科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

精密隔振光學平臺-光學平臺-氣浮光學平臺 h-TDI系列是日本HERZ公司研發(fā)的一款3D減振類型系統(tǒng)。該系列改進了原始TDI減振系統(tǒng)的SHG技術(shù)，采用超高性能3D空氣彈簧搭配高阻尼框架，可隔離三維六個自由度的振動，適用于光學顯微鏡，干涉儀，輪廓儀等精密儀器，可以為用戶提供優(yōu)異的被動隔振性能。

詳細介紹

產(chǎn)品描述：

精密隔振光學平臺–光學平臺–氣浮光學平臺 h-TDI 系列是日本HERZ公司研發(fā)的一款3D減振類型系統(tǒng)。該系列精密隔振光學平臺改進了原始TDI減振系統(tǒng)的SHG技術(shù)，采用超高性能3D空氣彈簧搭配高阻尼框架，可隔離三維六個自由度的振動，適用于光學顯微鏡，干涉儀，輪廓儀等精密儀器，可以為用戶提供優(yōu)異的被動隔振性能。系列是日本HERZ公司研發(fā)精密隔振光學平臺的一款3D減振類型系統(tǒng)。該系列改進了原始TDI減振系統(tǒng)的SHG技術(shù)，采用超高性能3D空氣彈簧搭配高阻尼框架，可隔離三維六個自由度的振動，適用于光學顯微鏡，干涉儀，輪廓儀等精密儀器，可以為用戶提供優(yōu)異的被動隔振性能。

精密隔振光學平臺-光學平臺-氣浮光學平臺 h-TDI

Herz 光學平臺工作原理：

安裝有測量和制造設備的地板或多或少會有振動。如果這些振動對設備造成不利影響，的解決方案則是使用光學平臺-精密減振臺-電鏡防振臺（減振臺），以便營造該設備的條件。

被動隔振臺以其的柔和運動，易于移動的形狀和適當?shù)闹亓縼砦諅魅氲恼駝樱⑾恼駝幽芰窟M行隔振。因此，諸如防振橡膠和空氣彈簧之類的柔軟材料以及可以輕柔移動的零件是被動隔振臺的重要元素。被動隔振臺可以通過改變彈簧強度或增加彈簧數(shù)量來支撐數(shù)十噸的設備。

相對于防振支撐件（彈簧上）的總重量M，空氣彈簧式隔振臺旨在使靜載荷下“彈簧壓力受壓面積S"，“彈簧內(nèi)部壓力P"和“彈簧數(shù)量N（支撐件的數(shù)量）"相乘的總數(shù)值保持平衡。當發(fā)生動態(tài)負載情況（由于M重心的移動而導致的不平衡狀態(tài)）時，可變負載分量（ΔM）由機械閥自動校正，或者由封閉閥手動校正以校正內(nèi)部壓力?？諝鈴椈墒礁粽衽_使用彈簧材料的粘性阻力和封閉壓力的空氣（氣體）阻力作為損失系數(shù)，為了改善隔振效果，空氣彈簧內(nèi)部容積（彈簧腔）與輔助氣罐內(nèi)部體積（阻尼室）之間通過節(jié)流孔（節(jié)流閥）彼此連接，并且通過節(jié)流孔進行空氣阻尼。該輔助氣罐是調(diào)節(jié)自然頻率的主要因素之一。這種控制方法的優(yōu)點是可以通過低成本的組件配置獲得的效果，例如通過機械閥進行壓力操作（壓力IN / OUT / EXH）以及通過節(jié)流孔或速度控制器進行流速/流量調(diào)節(jié)。

產(chǎn)品特點：