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QUANTUM量子科學儀器貿(mào)易(北京)有限公司


太赫茲近場光學顯微鏡

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產(chǎn)品型號THz-NeaSNOM

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地北京市

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更新時間:2023-11-21 17:48:53瀏覽次數(shù):234次

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產(chǎn)品簡介

太赫茲(THz)光源波長較大,一般在300微米左右。由于衍射極限的存在,THz遠場測量系統(tǒng)的光學空間分辨率一般被限制在150微米左右。該THz光遠場測量結(jié)果的準確度經(jīng)常無法滿足對材料科學研究,尤其是需要納米分辨率的微細尺度材料分布研究(例如半導體芯片中各個組成:源極,漏極,柵極)的實驗。太赫茲近場光學顯微鏡(THz-NeaSNOM)的出現(xiàn)為此難題提供了一個很好的解決方案。

詳細介紹

太赫茲近場光學顯微鏡 THz-NeaSNOM

---30nm光學信號空間分辨率

 

產(chǎn)品簡介:

     太赫茲(THz)光源波長較大,一般在300微米左右。由于衍射極限的存在,THz遠場測量系統(tǒng)的光學空間分辨率一般被限制在150微米左右。該THz光遠場測量結(jié)果的準確度經(jīng)常無法滿足對材料科學研究,尤其是需要納米分辨率的微細尺度材料分布研究(例如半導體芯片中各個組成:源極,漏極,柵極)的實驗。THz-NeaSNOM近場光學顯微鏡的出現(xiàn)為此難題提供了一個很好的解決方案。

    德國neaspec公司與Fraunhofer IPM在neaspec公司neaSNOM近場光學顯微鏡的基礎(chǔ)上,已經(jīng)成功研發(fā)了一套易用使用且THz系統(tǒng)的空間分辨率達到30nm的實驗設(shè)備。

 

THz-NeaSNOM主要技術(shù)參數(shù)與特點:

 

   

 

+優(yōu)于30nm的空間分辨率

+常用THz光范圍:0.1-3THz

+寬波段拋面鏡

+THz研究可使用商業(yè)化的AFM探針

+THz-TDS使用飛秒激光光源

+簡單易用,穩(wěn)定性高

 應用案例:

THz-NeaSNOM 30nm空間分辨率

THz-NeaSNOM近場光學顯微鏡(下圖左)對半導體結(jié)構(gòu)的測量結(jié)果圖。

該結(jié)果表明硅襯底(上圖左,灰色)上的SiO(一氧化硅)的尺寸大約在1.5×1 平 方微米。通過分析左側(cè)的高度數(shù)據(jù),可以知道該一氧化硅結(jié)構(gòu)僅僅只有大約22納米厚度。雖然該層狀結(jié)構(gòu)非常薄,但THz-NeaSNOM近場光學顯微鏡(下圖左)在測量高度的同時仍然能夠記錄該結(jié)構(gòu)與襯底的近場光學信號的明顯不同襯度的結(jié)果。該THz-NeaSNOM近場光學顯微鏡不僅在測量非常薄樣品的時 候靈敏度非常高,而且通過分析近場光學信號數(shù)據(jù)(下圖右)也證實了它超高的空間分辨率(~25-30nm)。

     表征半導體器件 Nature 456,454(2008)   

 

 

 

 超快機制研究納米線  Nature Photonics 8,841(2014)  

測試數(shù)據(jù)

表征半導體器件 Nature 456,454(2008)

超快機制研究納米線  Nature Photonics 8,841(2014)

用戶單位

部分用戶好評與列表(排名不分先后)

neaspec公司產(chǎn)品以其穩(wěn)定的性能、*的空間分辨率和良好的用戶體驗,得到了國內(nèi)外眾多科學家的認可和肯定......

 

南京大學

中山大學

首都師范大學

蘇州大學

 


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