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CS300型質(zhì)量流量控制器

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

質(zhì)量流量控制器（MFC）用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測(cè)量和控制

詳細(xì)介紹

質(zhì)量流量控制器（MFC）用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測(cè)量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測(cè)量?jī)x器、制氣配氣等行業(yè)。

CS300系列產(chǎn)品特點(diǎn)：

1. 與氣體接觸的零件表面經(jīng)過電化學(xué)拋光處理，粗糙度達(dá)到Ra 5μinch。
2. 與氣體接觸的零件表面化學(xué)成分：Cr/Fe比例≥2.0；CrO 厚度≥20 （埃）。
3. 具有壓力補(bǔ)償功能。
4. 支持1.125,1.5英寸W，C，B型IGS氣路系統(tǒng)

類號(hào)	CS310C		CS320C
閥類型	Normally Closed or Normally Open	No Valve	Normally Closed or Normally Open	No Valve
流量規(guī)格(N₂)	(0～1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30) SLM
準(zhǔn)確度	±1% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S. (＜35% F.S.)		±0.80% S.P. (≥30% F.S.) ±0.24% F.S. (＜30% F.S.)
線性	±0.5% F.S.
重復(fù)精度	±0.2% F.S.
響應(yīng)時(shí)間	≤ 0.8sec （≤ 0.5sec optional）
工作壓差范圍	(0.05～0.35)Mpa(≤10SLM) (0.1～0.35)MPa (＞10SLM)	＜0.02 MPa	(0.05～0.35)Mpa(≤10SLM) (0.1～0.35)MPa (＞10SLM)	＜0.02 MPa
溫度系數(shù)	Zero: ≤±0.02% F.S./℃； Span: ≤±0.05% F.S./℃
耐壓	3MPa
漏率	1×10^-11 Pa·m³ / sec He
密封材料	Metal
工作環(huán)境溫度	（0～50）℃
輸入信號(hào)	Digital:RS485 Or DeviceNet Analog:(0～5)VDC	No	Digital:RS485 Or DeviceNet Analog:(0～5)VDC	No
輸出信號(hào)	Digital:RS485 Or DeviceNet Analog:(0～5)VDC
零漂	＜0.6%F.S. per year without autozero
電源	±11～±16 VDC (雙極) 或 +11～+28 VDC (單極)
表面化學(xué)成分	Cr/Fe ratio >2.0; CrO thickness >20 Angstroms
表面粗糙度	Ra 5μinch
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式	VCR1/4陽接頭； 1.125″C型密封接頭 1.125″W型密封接頭		1.5″B型密封接頭 1.5″C型密封接頭 1.5″W型密封接頭
電源接頭形式	D sub 9 pins male，D sub 15 pins male，DeviceNet male
重量	1 Kg	0.8Kg	1.2Kg	1Kg