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激光干涉儀

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更新時間:2022-12-07 14:52:17瀏覽次數(shù):342次

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激光干涉儀隨著我國制造業(yè)的快速發(fā)展,對數(shù)控機床的精度要求越來越高,如何檢測機床的精度,成為制造廠家和用戶在驗收與維護機床時都非常關注的問題

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激光干涉儀

 隨著我國制造業(yè)的快速發(fā)展,對數(shù)控機床的精度要求越來越高,如何檢測機床的精度,成為制造廠家和用戶在驗收與維護機床時都非常關注的問題。

數(shù)控機床的精度指標分:幾何精度、位置精度、定位精度、分度精度、重復定位精度、回零精度。

1、數(shù)控機床的幾何精度反映機床的關鍵機械零部件(如床身、溜板、立柱、主軸箱等)的幾何形狀誤差及其組裝后的幾何形狀誤差,包括工作臺面的平面度、各坐標方向上移動的相互垂直度、工作臺面X、Y坐標方向上移動的平行度、主軸孔的徑向圓跳動、主軸軸向的竄動、主軸箱沿z坐標軸心線方向移動時的主軸線平行度、主軸在z軸坐標方向移動的直線度和主軸回轉(zhuǎn)軸心線對工作臺面的垂直度等。常用檢測工具有精密水平尺、精密方箱、千分表或測微表、直角儀、平尺、高精度主軸芯棒及千分表桿磁力座等。

2、數(shù)控機床的定位精度,是指所測機床運動部件在數(shù)控系統(tǒng)控制下運動時所能達到的位置精度。該精度與機床的幾何精度一樣,會對機床切削精度產(chǎn)生重要影響。測量直線運動的檢測工具有:標準長度刻線尺、成組塊規(guī)、測微儀、光學讀數(shù)顯微鏡及激光干涉儀等。標準長度測量以激光干涉儀的測量結(jié)果為準?;剞D(zhuǎn)運動檢測工具有360齒精密分度的標準轉(zhuǎn)臺或角度多面體、高精度圓光柵和平行光管等。

 

目前各機床公司通用的檢測儀采用SJ6000激光干涉儀;在機床處于運動狀態(tài)下對機床的定位精度進行測量;機床的螺距誤差補償方式包括線性軸補償和旋轉(zhuǎn)軸補償這兩種方式,可對直線軸和旋轉(zhuǎn)工作臺的定位精度分別補償。進行螺距誤差補償時,先測量再補償,補償后再測量,并應按相應的分析標準(VDI3441、JIS6330或GB10931-89)對測量數(shù)據(jù)進行分析,直到達到機床的定位精度要求。
 

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