Profilm3D光學(xué)輪廓儀

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產(chǎn)品型號Profilm3D

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更新時間：2022-12-30 15:04:37瀏覽次數(shù)：658次

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翌穎科技（上海）有限公司

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產(chǎn)品簡介

Filmetrics讓3D光學(xué)輪廓測量的價格變得更加能夠接受。Profilm3D使用的垂直干涉掃描(WLI)與高精度的相位干涉(PSI)技術(shù)。以的價格實現(xiàn)次納米級的表面形貌研究。

詳細介紹

您還在位每人都希望要的功能而支付額外的費用嗎？我們現(xiàn)在每臺Profilm3D都將100mm自動XY樣品臺，4孔物鏡轉(zhuǎn)臺和手動調(diào)平裝置作為標準配置。

Profilm3D僅用10倍物鏡就提供了達到2mm的超大視場范圍，同時其4倍光學(xué)變焦的功能緩解了不同應(yīng)用時切換多個物鏡的需求。這些都進一步降低了采購成本。

特征值
8 μm 臺階高度
精確度是指每天測量30次10um臺階高度標樣的1次標準差，連續(xù)成功測量20天的平均值。環(huán)境溫度穩(wěn)定性小于 1°C。
穩(wěn)定性是指連續(xù)成功測量10um臺階高度標樣20天，取每天測量30次數(shù)值的平均值，計算2倍標準差。環(huán)境溫度穩(wěn)定性小于 1°C。
所有變焦縮放后的有效像素為648 x 484 (通過數(shù)位化的pixel binning實現(xiàn))
分開銷售
樣品上投影的像素大小
樣品表面粗糙時可測傾角將更大